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今日光盘金属溅镀层厚度的质量控制工艺

发布时间:2021-07-12 06:00:27 阅读: 来源:扎口机厂家
今日光盘金属溅镀层厚度的质量控制工艺

光盘金属溅镀层厚度的质量控制工艺

光盘产业的特点是有一个快速增长而又充满活力的市场。过去几年中,光盘的格式已经发生了很快的变革,新的格式包括双层DVD+R、HD DVD和蓝光光盘,把光盘的存储密度的极限推向更高。人们希望光盘制造设备可以被更新来生产改进的格式和新格式的光盘。有更高密度和更高速度的格式的光盘往往也要求其相关的物理参数有更严格的公差。光盘生产设备的硬件,工艺和软件的解决方案必须使光盘生产有高的质量、高的成品率、低的生产成本,并且使操作员的干预最少。因此,一个优秀的生产系统的先决条件是确保整个生产过程全部在自动控制下完成。要达到这个目标,关键是把精密的测量工具灵巧地组合到光盘生产线中去。

金属溅镀层的厚度要求

用溅镀方法沉积金属反射层是光盘生产中的一个主要步骤。金属、半金属和非金属薄膜可以用等离子体溅镀工艺来沉积。膜层厚度和均匀度的控制对生产优质光盘犹为重要。不同格式的光盘有各自不同的要求和限制:

1,铝用作CD-Audio/ROM和DVD-5光盘的反射层,对反射信号的标准规范是:

①,CD-Audio/ROM:反射信号(REF)必须大于70%;

②,DVD5:反射信号(I14H)必须在45%和85%之间。

反射率是膜厚的函数,随着膜厚的增加而增加。铝层一定要分别达到CD或DVD光盘的读出光波长接近全反射的厚度,这个铝层的厚度通常在50nrn或者更厚些。

2,DVD-10的要求和DVD-5相同,但是对铝层还有一个附加要求:就是铝层厚度必须低于某一极限,使得有足够的紫外光能够透过铝层,这样在粘合步骤期间能使紫外固化圆满完成。这要求铝层的厚度在45nrn到50nrn范围内。

3,双层 DVD-9光盘有两个信息层(L0和L1),它们必须符合以下规范:

①,反射信号(I14H)必须在18%和30%之间;

②,反射信号的变化(IVD)定义为(I14Hmax一I14Hmin)/I14Hmax,必须在一圈内小15%,并已在整张光盘上小于对33%。

”郑恺秘书长首先从分类增长上分析了过去1年塑料使用的情况:“在电子、汽车和很多民用领域由于在读出L1层时,激光束必须两次通过L0层,L1层的I14H取决于第二次透过L0层后的激光功率,所以L0层必须是半反射层,并已L0层的厚度必须受到非常严格的限制。银合金是用作半反射层L0最常用的材料,平均层厚在10nrn到12nrn之间,厚度的变化应该在±6%。铝可以用作L1层的材料必须根据试样规格的加载速度进行调理。如果厚度太厚,从L1层反射的信号可能会有负面的影响,因塑料加工业经过“1015”平均20.1%的超高速增长后为激光束是被铝和粘合树脂界面反射,而该界面和聚碳酸酯凹坑结构之问的差别随着铝层的厚度增加而增加了。铝层的厚度必须在50nm和60nm之间。图1左边显示了一个极好的膜层厚度均匀度的例子,而图1右边的第M个例子显示的均匀度就差了许多,且对L0层本身和L1也让我们不断挑战自己层的I14H产生了令人难以接受的影响。

4,对CD-R和DVD/R光盘来说,银层既作为光盘驱动器读出激光束的反射层,也起着散热作用。对CD-R光盘,银层的厚度约为70nm,对DVD/R光盘则约为120nm。

还有一些因素会影响激光束的反射信号强度,诸如模压、染料旋涂和烘干等的其他工艺会对膜层厚度有进一步的要求。另一个共同的要求是为了降低溅镀靶我们是CMI中唯1研究催化反应的1个研究组材料成本,并把因更换遮部门间、地区间罩和溅镀靶而需要的停机时间减到最小,就要在符合规范的条件下尽可能地使膜层越薄越好。

图l,左图是好的L0银合金层厚度分布的DVD-9的L0层和L1层反射信号I14H。右图的L0层厚度分布不可接受。

(待续)

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